7Nアンモニア

7N アンモニアは、純度 99.99999% の電子グレードの特殊ガスです。-これは主に高温高圧下で窒素と水素から合成され、その後、多段階の蒸留、吸着、精製プロセスが行われます。{4}}半導体、化合物半導体、高度なディスプレイ製造における重要なプロセス ガスとして、その超高純度は薄膜の品質、デバイスの性能、生産歩留まりを確保するために不可欠です。{6}{7} -水分、酸素、炭化水素、金属イオンなどの微量不純物でも-デバイスの欠陥につながる可能性があるため、7N アンモニアはハイエンド製造において不可欠なコア材料となっています。-

当社は、世界をリードする第 3 世代半導体メーカー-と長期的な戦略的パートナーシップを確立しています。- GaN-on-Si パワー デバイスの量産ラインについて、お客様は、7N 高純度アンモニア ガス中の水分と金属不純物について、-限界に近い仕様を要求しました（水分は 5 ppb 以下、金属イオンは 0.005 ppb 以下）。-当社は専用の精製モジュールとオンライン モニタリング システムをカスタマイズし、専用パイプラインを介して中断のない汚染のない使用点-の供給-を実装しました。協業を通じて、供給された 7N 高純度アンモニア ガスにより、顧客はエピタキシャル ウェーハの欠陥密度を 30% 削減することができ、デバイスの歩留まりと信頼性が大幅に向上し、それによって高電圧パワー半導体市場における主導的な地位を確固たるものにした-。この事例は、統合された超-高純度ガス- ソリューションを提供する当社の強力な能力を実証しています。