製品概要
-高純度酸素は重要な工業用および特殊ガスであり、高度な製造、エレクトロニクス、科学研究の厳しい要件を満たす不純物レベルが極めて低いことが特徴です。標準的な工業用酸素とは異なり、高純度酸素は追加の精製プロセスを経て、水分、炭化水素、窒素、希ガスなどの微量汚染物質を除去します。この卓越した純度は、たとえ微量の不純物でも製品の品質、プロセス効率、または実験の完全性を損なう可能性がある用途には不可欠です。高純度酸素の信頼できる供給は、ハイテク分野や重要な医療におけるイノベーションの基盤です。{4}}
基本情報
| CAS番号 | 7782-44-7 |
| 国連番号 | UN1072 (酸素、圧縮) または UN1073 (酸素、冷蔵液体) |
| 分子式 | O₂ |
| 危険有害性の分類 | 2.2 (不燃性、酸化性ガス)- |
主要な属性とパラメータ
| 純度 | 99.5% (グレード 3.0)、99.9% (グレード 4.0)、99.995% (グレード 4.5)、および特定の用途向けに最大 99.9999% (グレード 6.0) などのグレードが用意されています。 |
| 主要な不純物の仕様 |
水分 (H₂O): 最低<0.5 ppmv (for 6.0 grade) 総炭化水素 (THC): 最低<0.1 ppmv (as CH₄) 窒素 (N₂):<5 ppmv アルゴン (Ar):<1 ppmv 二酸化炭素 (CO₂):<0.1 ppmv |
| 物理的状態 | 無色、無臭、無味のガス。バルク配送用の極低温液体 (LOX) としても供給されます。 |
| 配送と梱包 | 高圧シリンダー、シリンダー バンドル、チューブ トレーラーで、または極低温タンク内のバルク液体として利用できます。- |
特徴と利点
超低汚染物質レベル-
厳格な精製により、微量ガス、水分、粒子状物質が最小限に抑えられ、敏感なプロセスでの汚染が防止されます。
強化されたプロセス制御と収量
一貫した高純度の酸素により、正確な酸化、燃焼、合成反応が可能になり、半導体やガラスの製造における優れた製品品質、歩留まりの向上、欠陥の減少につながります。-
先端技術にとって不可欠
光ファイバープリフォーム合成、高効率太陽電池製造、高度な冶金など、標準的な酸素純度が不十分なプロセスには不可欠です。{0}}
優れた安全性と一貫性
国際規格 (ISO、SEMI など) に適合またはそれを上回り、特に酸化環境におけるプロセスの信頼性と安全性を確保します。
機能特性
高純度酸素-は、超クリーンな酸化剤、反応剤、プロセス ガスとして機能します。-半導体製造では、均一な二酸化シリコン層を成長させるための熱酸化や、化学蒸着 (CVD) やプラズマ エッチングで使用されます。これらの役割において、不純物は結晶欠陥を生成したり、反応速度を変化させたりする可能性があります。特殊な医療および生命維持用途における呼吸可能なガスとして、その純度は患者の安全にとって非常に重要です。-これは、極低温空気分離とそれに続く炭化水素の接触酸化、吸着、濾過などの追加の精製ステップを経て製造されます。
主な応用分野
半導体およびエレクトロニクス製造
チップ製造における熱酸化、化学蒸着 (CVD)、プラズマ エッチング、およびアッシング。 DRAM、ロジックデバイス、MEMS の製造に不可欠です。
光ファイバーと特殊ガラス
光ファイバー用の超高純度シリカ ガラス プリフォームの合成と、高品質ディスプレイ ガラス(LCD/OLED パネルなど)の製造。-
製薬およびバイオテクノロジー
発酵プロセス、細胞培養、および厳格な適正製造基準 (GMP) 条件下での合成の原料として使用されます。
先端材料と研究
超電導体の製造、反応性金属 (チタンなど) の精密溶接、分析機器や雰囲気制御の研究での使用。
専門医療
ガスの純度が最重要視されるレーザー手術、高圧医学、高度な生命維持システム。
お客様とのコラボレーション事例
宇宙用途向けの先進的な太陽電池の大手メーカーは、重大な課題に直面していました。主要な透明導電性酸化物層を堆積するプロセスでは、高度に制御された酸化環境が必要でした。標準的な酸素供給に含まれる微量の水分と炭化水素の不純物が層密度と光学特性に不一致を引き起こし、セル効率を低下させていました。当社は彼らと提携して、グレード 5.5 の高純度酸素 (純度 99.9995%、THC 含有) の専用供給を実施しました。<0.1 ppm and H₂O <0.5 ppm). We installed a point-of-use purifier and a closed-loop monitoring system to guarantee purity at the tool inlet. The switch to our high purity oxygen resulted in a dramatic improvement. The deposited films showed 40% fewer defects and a 15% increase in consistent light transmittance. This enhancement directly translated to a measurable increase in the power conversion efficiency and long-term reliability of their solar cells, securing a crucial contract for a major satellite program. This success underscored how our high purity oxygen was not just a utility but an enabling material for cutting-edge performance.
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