水素標準ガス

高純度水素、水素標準ガスは、極めて低レベルの不純物を特徴とする重要な工業用ガスであり、特に他のガスによる汚染により性能や安全性が損なわれる用途向けに調整されています。主に水蒸気メタン改質または電気分解によって調達され、厳格な基準に合わせて精製される高純度水素は、エレクトロニクス製造、化学合成、および新興のクリーン エネルギー技術に不可欠です。高純度水素の信頼性の高い供給により、半導体製造から燃料電池の動作に至るまでのプロセスにおいて最適な効率と安全性が保証されます。

水素標準ガスは主に還元剤、キャリアガス、または燃料として機能します。半導体製造では、アニール、エピタキシャル成長、および酸化を防ぐためのフォーミングガス（窒素と混合）として使用されます。高い熱伝導率と低密度により、大型発電機の効率的な冷却媒体になります。燃料電池では、電気化学的に酸素と結合して電気と水が生成されます。化学プロセスでは、水素化、水素化分解、脱硫反応に関与します。生成時点から使用時点まで純度を維持するために、特殊な保管、取り扱い、精製技術が採用されています。

5G デバイス用の先進的な半導体チップを製造する大手メーカーは、重要なアニーリング ステップ中に持続的な酸化層の不一致に遭遇し、トランジスタの性能と歩留まりに影響を及ぼしました。彼らは、プロセスガス中の微量酸素が原因であると疑っていました。当社は、99.9999% の高純度水素の専用供給装置を導入するために提携し、ツール入口での酸素レベルが 10 ppb 未満であることを保証するポイントオブユース浄化装置と統合されました。--さらに、リアルタイムの水分と酸素のモニタリング システムも実装しました。-当社の高純度水素によって作成された超乾燥した無酸素環境により、酸化の問題が解消され、影響を受けるプロセス層のウェーハ歩留まりが 30% 向上し、デバイスの信頼性が向上しました。-このコラボレーションは、重大な生産ボトルネックを解決しただけでなく、工場内のガス純度の新しい基準を確立し、水素標準ガスがいかに最先端の半導体製造を直接可能にするかを実証しました。-